一.序
�@�@LCD顯示屏之用途以電腦、手提電話以至在電視上的需要也正在急速的增長。
各LCD顯示屏廠商為增加產(chǎn)量簡化生產(chǎn)工序、減低成本等，正在不斷地努力，在a-siTFT之顯示屏中，為增加產(chǎn)量特別把母玻璃尺寸增大之事宜作出測試。
�@�@示圖1 母玻璃尺寸在2001年第5期時（1200mm*1200mm級）、2002～2003年時第5+期（1100mm*1250mm級）及6期（1250mm*1650mm級）等尺寸的生產(chǎn)予預(yù)測速度。

圖1 母玻璃尺寸

母玻璃尺寸之推移

�@�@HC-4意像圖

�@�@此論文、目的是介紹在開發(fā)過程中，研究出對大型LCD基板主要之洗凈技術(shù)成果。

二.清洗SEAL
�@�@對于清洗玻璃基板時，主要清洗分別以微粒子污染、有機物、金屬物去微粒子的SEAL，與有關(guān)尼龍毛刷加以說明。
�@�@1)隨著玻璃基板之大型化，以刷輥清洗方式進行時，接觸面增大時磨擦力也隨之增加的情況下，運送時出現(xiàn)有不安定及洗凈效果不均等情況。

�@�@2)按此問題計算，刷毛之直徑從本來的0.07mm改為0.05mm。增加植毛密度（3倍）后刷毛的測試參數(shù)如下圖2：

圖2 刷毛之按著力量及摩擦力

�@�@接著力增加時，刷毛直徑0.07玻璃基板表面之摩擦力比例引對地增加。當刷毛直徑0.05mm時所產(chǎn)生之摩擦力一定會比前者少。
�@�@在玻璃基板運送時之影響也有一定之改善。
�@�@以2種不同直徑毛刷之洗凈評價結(jié)果如下圖3。而毛刷直徑0.07mm的洗凈性能與毛刷之滾動數(shù)有相對關(guān)系，0.05mm毛刷是以較闊范圍的滾動，使它有洗凈的安全性。這個也與植毛之密度高的效果下有直接關(guān)系。

圖3 殘留粒子的評價

三.干燥seal
�@�@濕清洗處理后之玻璃基板，需干燥處理，而一般多以采用spin干燥方式或氣刀方式。
玻璃基板尺寸之大型化下與TACT TIME化的進行中