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大型液晶玻璃基板的洗凈技術(shù)

作者:Admin 發(fā)布時間:2010-07-08 10:53:26點擊:

一.序
LCD顯示屏之用途以電腦、手提電話以至在電視上的需要也正在急速的增長。
各LCD顯示屏廠商為增加產(chǎn)量簡化生產(chǎn)工序、減低成本等,正在不斷地努力,在a-siTFT之顯示屏中,為增加產(chǎn)量特別把母玻璃尺寸增大之事宜作出測試。
示圖1 母玻璃尺寸在2001年第5期時(1200mm*1200mm級)、2002~2003年時第5+期(1100mm*1250mm級)及6期(1250mm*1650mm級)等尺寸的生產(chǎn)予預(yù)測速度。

圖1 母玻璃尺寸
母玻璃尺寸之推移
HC-4意像圖

此論文、目的是介紹在開發(fā)過程中,研究出對大型LCD基板主要之洗凈技術(shù)成果。

二.清洗SEAL
對于清洗玻璃基板時,主要清洗分別以微粒子污染、有機物、金屬物去微粒子的SEAL,與有關(guān)尼龍毛刷加以說明。
1)隨著玻璃基板之大型化,以刷輥清洗方式進行時,接觸面增大時磨擦力也隨之增加的情況下,運送時出現(xiàn)有不安定及洗凈效果不均等情況。

 

2)按此問題計算,刷毛之直徑從本來的0.07mm改為0.05mm。增加植毛密度(3倍)后刷毛的測試參數(shù)如下圖2:

圖2 刷毛之按著力量及摩擦力

接著力增加時,刷毛直徑0.07玻璃基板表面之摩擦力比例引對地增加。當刷毛直徑0.05mm時所產(chǎn)生之摩擦力一定會比前者少。
在玻璃基板運送時之影響也有一定之改善。
以2種不同直徑毛刷之洗凈評價結(jié)果如下圖3。而毛刷直徑0.07mm的洗凈性能與毛刷之滾動數(shù)有相對關(guān)系,0.05mm毛刷是以較闊范圍的滾動,使它有洗凈的安全性。這個也與植毛之密度高的效果下有直接關(guān)系。

圖3 殘留粒子的評價

三.干燥seal
濕清洗處理后之玻璃基板,需干燥處理,而一般多以采用spin干燥方式或氣刀方式。
玻璃基板尺寸之大型化下與TACT TIME化的進行中

相關(guān)標簽: 玻璃基板
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